2025-01-16
についてクリーンルーム,気流パターンは2種類あります.パラボリック流と渦巻流.一つはデスクトップで使用するために特別に設計され,もう一つは携帯システムのために設計されています.
一方向と平行流量:ラミナー流,または片方向の空気流は,高いレベルでのクリーンルームで最も使用され,望ましい空気流です.ラミナー流は,空気の層状の動きによって特徴付けられています.層が混じり合わない流体の2層が互いに並行して進むように,クリーンルームの横断部分に相対的な流れ速度が維持されます.
垂直ラミナー流量:垂直層流式では,クリーンルームの空気は水平的に冷却され,天井から供給され,床から排出されます.この方向性は,水平プロセスが下向きに逆転している場合,特に有用であり,その中には,ウエーファーが加工されている半導体製造も含まれます.継続的な下流により,製造過程で生成されるかもしれない粒子が除去され,繊細な物品に堆積しないようにします.
横軸ラミナー流量:I横横流の流通式クリーンルームでは,側面壁の1つから空気を供給し,反対側壁から排出します.このタイプの流れは,長い平らな表面に頻繁に清掃サービスが必要ないくつかの組立作業に使用されます..
粒子の除去効率:空気が片方向に動いているという考えについては,粒子は空気流の方向に沿って移動し,作業スペースから迅速に除去されます.クリーンルームで非常に低い粒子の濃度を得て,電子機器の製造を含む高度な清潔性を要求する産業で使用するのに適したクリーンルームを作る薬剤や航空宇宙部品
混沌とした流れと混ざった流れ渦巻き流動は,ストカスト的非系統的な空気流によって記述される. 渦巻き流動のクリーンルームでは,部屋に供給されている空気は均一ではない.したがって,渦巻き,渦や渦が起こります部屋内の気速の不規則な分布があり,様々な気流の相当な統合があります.
適用及び制限:渦巻流のクリーンルームは,製造費と運用コストの観点からも,ラミナリー流のクリーンルームよりも安価です.環境の清潔性が非常に高い状況で使用するために理想的です例えば,軽い組立作業を行う場合や,粒子排出量がほとんどない地域では,粒子が空中に留まり,物体や工品に堆積する可能性が高いため,精密作業や粒子の汚染に非常に敏感なプロセスでは使用されません..
だから laminar flow is most common in clean rooms where high level of cleanliness is needed while turbulent flow maybe used in other clean rooms since it is cheaper despite the impracticalities of the air flow.
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